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日本EUV 移機(jī)及支架改造工事
原有設(shè)備架設(shè)EUV系統(tǒng)，提升產(chǎn)品良率及效率。目前支架及相關(guān)電路變更工事。
EUV原為韓國(guó)設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進(jìn)行支架及電系之強(qiáng)化作業(yè)。
EUV原為韓國(guó)設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進(jìn)行支架及電系之強(qiáng)化作業(yè)。
原有設(shè)備架設(shè)EUV系統(tǒng)，提升產(chǎn)品良率及效率。目前支架及相關(guān)電路變更工事。
EUV原為韓國(guó)設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進(jìn)行支架及電系之強(qiáng)化作業(yè)。
經(jīng)由分析后：發(fā)現(xiàn)以下的問(wèn)題。請(qǐng)參考應(yīng)力圖。
原支架搭新EUV后變型問(wèn)題發(fā)生。故設(shè)計(jì)輔助支架。
新型設(shè)計(jì)如下圖：
