原有設備架設EUV系統(tǒng)，提升產品良率及效率。目前支架及相關電路變更工事。
EUV原為韓國設備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗淨設備上，需進行支架及電系之強化作業(yè)。








經由分析後：發(fā)現以下的問題。請參考應力圖。



原支架搭新EUV後變型問題發(fā)生。故設計輔助支架。



新型設計如下圖：